在p-Si中扩磷13分钟，测得结深为0.5μm，为使结深达到1.5μm，在原条件下还要扩分钟。（只保留整数）答案: 104 如需购买完整答案，请点击下方红字：点击这里，购买完整答案获取更多中国大学慕课答案，请点击这里，进入mooc.mengmianren.com